低温真空泵的原理与结构 低温真空泵的特点及适用范围

一、低温真空泵是什么真空泵

低温真空泵是一种利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵，又叫冷泵、冷凝泵，一般是以低温液体（液氮或液氦）或低温制冷机为冷源。

二、低温真空泵的原理与结构

低温真空泵主要由泵壳、障板和冷屏、冷头、二级冷板等组成，其作用原理是：依靠冷源提供的冷量使表面气体被冷到低温冷凝时压力下降，不冷凝气体在低温下被固体吸附剂吸附，从而达到排气的效果，获得洁净真空，低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。

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三、低温真空泵的优点

1、高极限真空度

标准的低温真空泵，其极限真空度可达10^-7Pa，必要时，在不加其它辅助泵的情况下也可以做到10^-9Pa，而理论上，甚至于达到10^-11Pa以上极高真空。

2、大抽速

低温真空泵的抽速较快，尤其对水具有超高的抽速，其远高于其它真空泵，低温泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快，可以大大提高产品产出量。

3、洁净

低温泵是真正的洁净无油、抽速高的高真空泵，它是利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空，在真空区域任何没有运动部件，没有油，所有清洁无污染。

4、运行成本低

低温真空泵可大大减少电能消耗，尤其是大口径泵。就抽速而言，低温泵仅需1/3的能耗就可以达到与扩散泵同等的效果。

5、安全可靠

低温真空泵的真空腔内无运动部件，来自外界的干扰或来自真空系统的微粒不影响工作；同时，由于低温泵回温具有一定"惯性"，可在突然停电的情况下，有效地保护真空腔体内真空，不至于被镀工件受到影响。

6、使用方便

低温泵对安装方位没要求，可以泵口超上、泵口朝下、水平位置安装或以腔体需要的任何角度安装。

7、使用寿命长

低温真空泵运动部件少且低速运行，通过日常的保养维护，低温泵的正常的使用寿命可达5~6万小时，有的甚至超过8万小时。

四、低温真空泵的缺点

1、需要降温时间（准备时间）。

2、需要再生。

3、购置成本高。

五、低温真空泵应用领域有哪些

低温泵适合用于需要高真空度的领域，尤其适合应用于要求洁净无油或快速抽气的场合，例如半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜等领域。

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2022-05-11 11:18:56